Dhyana 9KTDI（簡稱：9KTDI）背照式TDI 相機(jī)基于先進(jìn)的sCMOS 背照式減薄和TDI 時(shí)間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測、半導(dǎo)體材料缺陷檢測、基因測序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測支持。
Dhyana 9KTDI（簡稱：9KTDI）背照式TDI 相機(jī)基于先進(jìn)的sCMOS 背照式減薄和TDI 時(shí)間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測、半導(dǎo)體材料缺陷檢測、基因測序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測支持。
Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技術(shù)，已驗(yàn)證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區(qū)域。256級 TDI技術(shù)可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設(shè)備檢測精度。
Dhyana 9KTDI搭載CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12靈活配置。 相機(jī)行頻最高可達(dá)9K @ 510 kHz，數(shù)據(jù)通量幾乎是目前主流8K線陣相機(jī)的6倍，背照式 CCD-TDI 相機(jī)的46倍，可大幅提高設(shè)備檢測效率。
相機(jī)高速運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的大量熱量，不僅會影響成像質(zhì)量，還會引起測量結(jié)果的波動。鑫圖先進(jìn)水冷和風(fēng)冷技術(shù)，確保相機(jī)制冷性能即使長時(shí)間運(yùn)行也能保持穩(wěn)定狀態(tài)，降低設(shè)備誤檢率。
· 型號:Dhyana 9KTDI
· 傳感器類型:BSI sCMOS TDI
· 傳感器型號:Gpixel GLT5009BSI
· 量子效率:38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
· 彩色 / 黑白:黑白
· 對角線尺寸:45.4 mm
· 有效面積:45.36 mm x 1.28 mm
· 分辨率:9072 (H) x 256 (V)
· 像素尺寸:5 μm x 5 μm
· 操作模式:TDI, Area
· TDI 級數(shù):4, 8, 16, 32, 64, 128, 256
· 掃描方向:正向，反向，觸發(fā)控制
· 電荷轉(zhuǎn)移效率:≥ 0.99993
· 位深:12 bit, 10 bit, 8 bit
· 滿阱容量:典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
· 動態(tài)范圍:典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
· 最大線速:299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bit
· 讀出噪聲:典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
· 暗信號不均勻性:典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
· 光響應(yīng)不均勻性:典型值：0.30%
· 制冷方式:風(fēng)冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
· 制冷溫度:低于環(huán)境溫度 35 ℃
· Binning:1 × 1, 2 x 2, 4 x 4, 8 x 8
· ROI:支持
· 觸發(fā)模式:觸發(fā)輸入, 掃描方向輸入
· 觸發(fā)輸出信號:Strobe out
· 觸發(fā)接口:Hirose, HR10A-7R-4S
· 時(shí)間戳精度:8 ns
· 模擬增益:x2 ~ x8, 步進(jìn) 0.5
· 數(shù)字增益:x0.5 ~ x10，步進(jìn) 1
· 數(shù)據(jù)接口:CoaxPress 2.0 ( CXP-12 )
· 光學(xué)接口:M72 / 用戶可定制
· 電源:12 V / 8 A
· 功耗:< 60 W
· 相機(jī)尺寸:86 mm x 86 mm x 109 mm
· 重量:1100 g
· 軟件:Samplepro, Matlab
· SDK:支持GenICam標(biāo)準(zhǔn)
· 操作系統(tǒng):Windows, Linux
· 操作環(huán)境:溫度 0~40 °C, 濕度 0~85%
Dhyana 9KTDI（簡稱：9KTDI）背照式TDI 相機(jī)基于先進(jìn)的sCMOS 背照式減薄和TDI 時(shí)間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測、半導(dǎo)體材料缺陷檢測、基因測序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測支持。
Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技術(shù)，已驗(yàn)證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區(qū)域。256級 TDI技術(shù)可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設(shè)備檢測精度。
Dhyana 9KTDI搭載CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12靈活配置。 相機(jī)行頻最高可達(dá)9K @ 510 kHz，數(shù)據(jù)通量幾乎是目前主流8K線陣相機(jī)的6倍，背照式 CCD-TDI 相機(jī)的46倍，可大幅提高設(shè)備檢測效率。
相機(jī)高速運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的大量熱量，不僅會影響成像質(zhì)量，還會引起測量結(jié)果的波動。鑫圖先進(jìn)水冷和風(fēng)冷技術(shù)，確保相機(jī)制冷性能即使長時(shí)間運(yùn)行也能保持穩(wěn)定狀態(tài)，降低設(shè)備誤檢率。
· 型號:Dhyana 9KTDI
· 傳感器類型:BSI sCMOS TDI
· 傳感器型號:Gpixel GLT5009BSI
· 量子效率:38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
· 彩色 / 黑白:黑白
· 對角線尺寸:45.4 mm
· 有效面積:45.36 mm x 1.28 mm
· 分辨率:9072 (H) x 256 (V)
· 像素尺寸:5 μm x 5 μm
· 操作模式:TDI, Area
· TDI 級數(shù):4, 8, 16, 32, 64, 128, 256
· 掃描方向:正向，反向，觸發(fā)控制
· 電荷轉(zhuǎn)移效率:≥ 0.99993
· 位深:12 bit, 10 bit, 8 bit
· 滿阱容量:典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
· 動態(tài)范圍:典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
· 最大線速:299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bit
· 讀出噪聲:典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
· 暗信號不均勻性:典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
· 光響應(yīng)不均勻性:典型值：0.30%
· 制冷方式:風(fēng)冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
· 制冷溫度:低于環(huán)境溫度 35 ℃
· Binning:1 × 1, 2 x 2, 4 x 4, 8 x 8
· ROI:支持
· 觸發(fā)模式:觸發(fā)輸入, 掃描方向輸入
· 觸發(fā)輸出信號:Strobe out
· 觸發(fā)接口:Hirose, HR10A-7R-4S
· 時(shí)間戳精度:8 ns
· 模擬增益:x2 ~ x8, 步進(jìn) 0.5
· 數(shù)字增益:x0.5 ~ x10，步進(jìn) 1
· 數(shù)據(jù)接口:CoaxPress 2.0 ( CXP-12 )
· 光學(xué)接口:M72 / 用戶可定制
· 電源:12 V / 8 A
· 功耗:< 60 W
· 相機(jī)尺寸:86 mm x 86 mm x 109 mm
· 重量:1100 g
· 軟件:Samplepro, Matlab
· SDK:支持GenICam標(biāo)準(zhǔn)
· 操作系統(tǒng):Windows, Linux
· 操作環(huán)境:溫度 0~40 °C, 濕度 0~85%
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